Ablenkeinheit
Anwendung
Die spannungsgesteuerte Stromquelle ist konzipiert für Anwendungen, bei welchen Magnetspulen mit bipolaren Strömen versorgt werden müssen, wie z. B. bei Elektronenkanonen für Aufdampfanlagen. Eine analoge Sollwertspannung im Bereich von 0 bis 10 V steuert den Ausgangsstrom im Bereich von –2,0 A bis +2,0 A. Weiterhin liefert die Baugruppe analoge 0 bis 10 V Monitorsignale für den Ausgangsstrom und die Ausgangsspannung.
Aufbau
Die Ablenkeinheit besteht aus dem Versorgungsgerät BDS und der Handsteuerung MBC. Beide Geräte sind mit einer 25pol. Sub-D-Leitung verbunden.
Sämtliche Ein- und Ausgänge sind auf der Rückplatte angeordnet. Auf der Frontseite befindet sich nur der Netzschalter.
Der Blick ins Innere zeigt die Verstärker-Baugruppen, die jeweils aus einer ±10V-Steuerspannung die ±600V Ausgangsspannung erzeugen.
Merkmale
- Ausgangsspannung: -600V ... +600V
- Anstiegszeit: < 1 ms
- Anzahl der Verstärker: 12 (max.)
- Gehäuse: B x H x T = 19" x 3HE x 600 mm
Handsteuerung MBC
Die Handsteuerung erzeugt sämtliche Steuerspannungen, die für das Einrichten und die Ablenkung des Elektronenstrahls bei RHEED-Anwendungen erforderlich sind.
Insbesondere verfügt die Handsteuerung über eine Beam-Rocking-Funktion, die den Ort des Elektronenstrahls auf der Probe konstant hält und nur den Auftreffwinkel ändert.
Über einen Signaleingang kann die Monitorspannung (0…10V) für die Energie des Elektronenstrahls eingespeist werden. Die Ausgangsspannungen der Verstärker sind dann proportional der Monitorspannung, so dass die Energie des Elektronenstrahls geändert werden kann ohne dass sich die Lage des Strahls verändert. Damit die Abbildungsverhältnisse der Magnetlinse ebenfalls unabhängig von der Strahlenergie sind, ändert sich der Magnetstrom proportional zur Quadratwurzel der Monitorspannung.
