EGS2

EGS2


Die spannungsgesteuerte Stromquelle ist konzipiert für Anwendungen, bei welchen Magnetspulen mit bipolaren Strömen versorgt werden müssen, wie z. B. bei Elektronenkanonen für Aufdampfanlagen. Eine analoge Sollwertspannung im Bereich von 0 bis 10 V steuert den Ausgangsstrom im Bereich von –2,0 A bis +2,0 A. Weiterhin liefert die Baugruppe analoge 0 bis 10 V Monitorsignale für den Ausgangsstrom und die Ausgangsspannung.

Anwendungen

Das Versorgungsgerät EGS2 liefert den Filamentstrom, die Wehneltspannung und die Beschleunigungsspannung für eine Elektronenkanone, vorzugsweise für eine RHEED-Kanone (Reflective High-Energy Electron Diffraction).


Merkmale

  • Beschleunigungsspannung: 0 ... -40.000 V
  • Strahlstrom: 0 ... -300 µA
  • Wehneltspannung: 0 ... -1.000 V
  • Filamentstrom: 0 ... 3,00 A
  • Energie-Anzeige: 4 ½ - stellig
  • Sonstige Anzeigen: 3 ½ - stellig