Steuerschrank für Aufdampfanlage

Das Steuergerät für eine Ultrahochvakuum Aufdampfanlage kann bis zu 16 Elektronenkanonen versorgen und ansteuern. Der Anwender bedient die Anlage sehr komfortabel über einen großen Flachbildschirm und einer Konsole mit Drehgebern und Funktionstasten.

Für die Einrichtung der Elektronenkanonen gibt es eine übersichtlich gestaltete Handsteuerung, welche dem Anwender alle wichtigen Parameter zur Verfügung stellt.

Der hochauflösende Bildschirm zeigt sowohl den Zustand der Elektronenkanonen an als auch den Zustand der Ablenkeinheiten. Bei Anlagen mit mehr als sechs Elektronenkanonen, kommt ein zweiter Bildschirm hinzu.

Anwendungen

Aufdampfanlagen für die Materialforschung

Merkmale

Gesamtgerät

21“ Flachbildschirm
Bedienkonsole
Handsteuerung
Analoge Zustandsanzeige mit Digitalvoltmeters
Ethernetanschluß
Steuerung aller Funktionen aus einem Menü heraus
Automatische Zuordnung der Sollwertparameter zu den Elektronenkanonen (kein Verwechseln der Anschlüsse möglich)
Selbsttest Funktion vor dem Start einer Kanone

pro Elektronenkanone:

Hochspannungsgerät 10 kV / 500 mA / 5 kW
Filamentversorgung 10V / 70A / 700W, potentialfrei
Rastergenerator mit sehr flexibel einstellbaren Abtastformen, Ablenkeinheit mit zwei Stromquellen für X- und Y-Ablenkung, ±2A